Картотека книг

предварительная версия
Картотека книг » Поиск по коду » Книги с ISBN13 9783639513653

Книга ISBN13 9783639513653 - Micromirror Technology for Maskless Lithography (Yijian Chen) в магазинах, библиотеках и электронных библиотеках с он-лайн чтением

Информация о местонахождении книг с указанным кодом ISBN. (Найти нужный код ISBN10 или ISBN13 можно в техническом каталоге кодов.)

На странице указаны адреса интернет-магазинов и библиотек (обычных) в которых есть книга с данным кодом.

Где купить эту книгу?

Интернет-магазины

Название: Micromirror Technology for Maskless Lithography
This book presents a complete analysis and review of dynamics, control and fabrication of MEMS micromirrors for applications in DUV and EUV maskless lithography. The transient and resonant behavior of various types of electro-mechanically damped micromirrors with various degrees of freedom are discussed. The theoretical approach using the perturbation method and linear control theory is described. Micromirror design and fabrication issues including the material properties, process integration, and device reliability are addressed. Novel processing solutions such as the self-aligned spacer patterning technique to define nano-scale actuation gaps for low-voltage operation are introduced. Fabrication results of highly complicated 3-D MEMS devices such as vertical-comb tilting micromirrors and double-flexure piston micromirrors are demonstrated. This book serves as an excellent in-depth source of MEMS dynamics, control, and fabrication knowledge for both graduate students and experienced...
Авторы: Yijian Chen
Издательство: Scholars' Press
Год: 2013
Местонахождение: OZON.ru
ISBN: 9783639513653


Поиск по сайту


Новости

10 января 2015 года: Запуск базы ISBN10 и ISBN13

Запущена база данных ISBN и технический каталог кодов.