Картотека книг

предварительная версия
Картотека книг » Поиск по коду » Книги с ISBN13 9783639717228

Книга ISBN13 9783639717228 - Contact Stress Uniformity in CMP and Grooved Lubrication Model Problem (Ian Hu) в магазинах, библиотеках и электронных библиотеках с он-лайн чтением

Информация о местонахождении книг с указанным кодом ISBN. (Найти нужный код ISBN10 или ISBN13 можно в техническом каталоге кодов.)

На странице указаны адреса интернет-магазинов и библиотек (обычных) в которых есть книга с данным кодом.

Где купить эту книгу?

Интернет-магазины

Название: Contact Stress Uniformity in CMP and Grooved Lubrication Model Problem
This work includes two parts. First, we use 2D models of fluid film lubrication and contact mechanics to calculate the contact stress and fluid (i.e., slurry) pressure distributions on the wafer–pad interface in chemical mechanical planarization (CMP). Our numerical results indicate that, the resulting minimum contact stress non-uniformity (NU), which directly affects the spatial uniformity of the material removal rate on the wafer surface, decreases with the effective wafer rigidity (determined by the wafer carrier structure), suggesting that it is beneficial to use a soft (e.g., floating-type) wafer carrier. For a given wafer rigidity, one may choose the retaining ring width and its back pressure, and multi-zone wafer-back pressure profile to minimize NU. Moreover, we also construct a grooved-surface fluid film lubrication model, motivated by the CMP model, to study the fluid lubrication mechanics by perturbation method. In particular, we correlate the attitude of the upper...
Авторы: Ian Hu
Издательство: Scholars' Press
Год: 2014
Местонахождение: OZON.ru
ISBN: 9783639717228


Поиск по сайту


Новости

10 января 2015 года: Запуск базы ISBN10 и ISBN13

Запущена база данных ISBN и технический каталог кодов.