Картотека книг

предварительная версия
Картотека книг » Поиск по коду » Книги с ISBN13 9783659365041

Книга ISBN13 9783659365041 - Electron Free Plasma : From Being to Becoming (Manoj Kumar Deka) в магазинах, библиотеках и электронных библиотеках с он-лайн чтением

Информация о местонахождении книг с указанным кодом ISBN. (Найти нужный код ISBN10 или ISBN13 можно в техническом каталоге кодов.)

На странице указаны адреса интернет-магазинов и библиотек (обычных) в которых есть книга с данным кодом.

Где купить эту книгу?

Интернет-магазины

Название: Electron Free Plasma : From Being to Becoming
Electronegative plasmas produced by attaching mobile low energy electrons to create heavy negative ions are very attractive for both fundamental research and plasma processing applications. Electronegative gas plasmas are widely used in microelectronics manufacturing for etching and deposition of thin films. For example, plasmas in gases containing Cl2 or SF6 are used for silicon etching, fluorocarbon plasmas are indispensable for silicon dioxide etching, and oxygen plasmas are used for ashing of photoresist and other polymers. Electronegative plasmas produced in argon and sulfur hexafluoride (SF6) are used to etch silicon, silicon nitride, silicon carbide and titanium carbide with high etch rates and without film residues. Highly electronegative discharges, also called ion–ion plasmas are seen as a promising solution for electric propulsion and neutral beam development. Ion–ion plasmas find application in charge-free semiconductor manufacturing, negative ion sources, and the D-layer...
Авторы: Manoj Kumar Deka
Издательство: LAP Lambert Academic Publishing
Год: 2013
Местонахождение: OZON.ru
ISBN: 9783659365041


Поиск по сайту


Новости

10 января 2015 года: Запуск базы ISBN10 и ISBN13

Запущена база данных ISBN и технический каталог кодов.