Картотека книг

предварительная версия
Картотека книг » Поиск по коду » Книги с ISBN13 9783843387583

Книга ISBN13 9783843387583 - Plasma-processing-induced Damage Of Thin Dielectric Films (He Ren) в магазинах, библиотеках и электронных библиотеках с он-лайн чтением

Информация о местонахождении книг с указанным кодом ISBN. (Найти нужный код ISBN10 или ISBN13 можно в техническом каталоге кодов.)

На странице указаны адреса интернет-магазинов и библиотек (обычных) в которых есть книга с данным кодом.

Где купить эту книгу?

Интернет-магазины

Название: Plasma-processing-induced Damage Of Thin Dielectric Films
In semiconductor industry, material property degradation due to process is a critical factor that limits the device performance. Process-induced damage on a variety of dielectric materials is discussed and measured. Results from various metrologies are packaged and correlated into systematic theory. Charge-induced, chemical, and physical damage source in plasma process environment is identified and optimized. Two sample types of dielectrics are investigated: high-k dielectrics used in device technology and low-k dielectrics as observed in interconnect technology.
Авторы: He Ren
Издательство: LAP Lambert Academic Publishing
Год: 2012
Местонахождение: OZON.ru
ISBN: 9783843387583


Поиск по сайту


Новости

10 января 2015 года: Запуск базы ISBN10 и ISBN13

Запущена база данных ISBN и технический каталог кодов.