Картотека книг

предварительная версия
Картотека книг » Поиск по коду » Книги с ISBN13 9783844352924

Книга ISBN13 9783844352924 - ЭУФ литография на длине волны 13,5 нм (Алексей Пестов) в магазинах, библиотеках и электронных библиотеках с он-лайн чтением

Информация о местонахождении книг с указанным кодом ISBN. (Найти нужный код ISBN10 или ISBN13 можно в техническом каталоге кодов.)

На странице указаны адреса интернет-магазинов и библиотек (обычных) в которых есть книга с данным кодом.

Где купить эту книгу?

Интернет-магазины

Название: ЭУФ литография на длине волны 13,5 нм
Проекционная литография с длиной волны 193 нм в настоящее время является ключевой технологией при производстве элементов микроэлектроники с помощью которой осуществляется "запись" топологического рисунка на фоторезисте с последующим проявлением. Благодаря применению различных методов улучшения изображений разрешение литографических установок уже превзошло дифракционный предел и достигает 32 нм. Ценой этого является ограниченный набор топологий, снижение производительности и дороговизна литографического процесса. Экономически выгодное освоение технологических норм 10-30 нм связывается с литографией экстремального ультрафиолетового (ЭУФ) диапазона, в котором основой оптических элементов являются многослойные интерференционные структуры (МИС). Несмотря на успехи, подтвердившие перспективы ЭУФ литографии для формирования наноструктур, на пути к коммерческому литографу на 13,5 нм предстоит решить ещё ряд научных и технологических проблем. В данной работе предлагаются методы диагностики и...
Авторы: Алексей Пестов
Издательство: LAP Lambert Academic Publishing
Год: 2011
Местонахождение: OZON.ru
ISBN: 9783844352924


Поиск по сайту


Новости

10 января 2015 года: Запуск базы ISBN10 и ISBN13

Запущена база данных ISBN и технический каталог кодов.