Картотека книг

предварительная версия
Картотека книг » Поиск по коду » Книги с ISBN13 9785915592154

Книга ISBN13 9785915592154 - Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование. Учебно-справочное руководство (В. Ю. Киреев) в магазинах, библиотеках и электронных библиотеках с он-лайн чтением

Информация о местонахождении книг с указанным кодом ISBN. (Найти нужный код ISBN10 или ISBN13 можно в техническом каталоге кодов.)

На странице указаны адреса интернет-магазинов и библиотек (обычных) в которых есть книга с данным кодом.

Где купить эту книгу?

Интернет-магазины

Название: Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование
В учебно-справочном руководстве проведен анализ возможностей, особенностей, ограничений и областей применения различных литографических и нелитографических методов наноструктурирования для создания топологии ИС с элементами субстонанометрового...
Авторы: Киреев В.Ю.
Издательство: Интеллект ИД
Год: 2016
Местонахождение: My-shop.ru
ISBN: 978-5-91559-215-4
Название: Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование. Учебно-справочное руководство
В учебно-справочном руководстве проведен анализ возможностей, особенностей, ограничений и областей применения различных литографических и нелитографических методов наноструктурирования для создания топологии ИС с элементами субстонанометрового диапазона. Показаны основные физические и химические механизмы и ограничения, лежащие в основе оптической нанолитографии, нанолитографии на экстремальном ультрафиолете, наноимпринт литографии, электронной нанолитографии и вакуумного газоплазменного травления. Приведено современное производственное оборудование различных видов нанолитографии, его операционные и конструкционно-технологические параметры, технологические и экономические характеристики реализуемых процессов. Руководство для университетов с обучением по специальностям: 210601 "Нанотехнология в электронике", 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника", 222900 "Нанотехнология и микросистемная техника", 210600 "Нанотехнология", 210100 "Электронное машиностроение", а...
Авторы: В. Ю. Киреев
Издательство: Интеллект
Год: 2016
Местонахождение: OZON.ru
ISBN: 978-5-91559-215-4


Поиск по сайту


Новости

10 января 2015 года: Запуск базы ISBN10 и ISBN13

Запущена база данных ISBN и технический каталог кодов.