Картотека книг

предварительная версия
Картотека книг » Поиск по коду » Книги с ISBN13 9785996300327

Книга ISBN13 9785996300327 - Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях (В. А. Галперин, Е. В. Данилкин, А. И. Мочалов) в магазинах, библиотеках и электронных библиотеках с он-лайн чтением

Информация о местонахождении книг с указанным кодом ISBN. (Найти нужный код ISBN10 или ISBN13 можно в техническом каталоге кодов.)

На странице указаны адреса интернет-магазинов и библиотек (обычных) в которых есть книга с данным кодом.

Где купить эту книгу?

Интернет-магазины

Название: Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях. Учебное пособие
В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших интегральных схем, изделий микроэлектромеханических...
Авторы: Галперин В.А.
Издательство: Бином. Лаборатория знаний
Год: 2018
Местонахождение: My-shop.ru
ISBN: 978-5-9963-0032-7
Название: Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях
В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших интегральных схем, изделии микроэлектромеханических систем и наносистем. Проанализированы способы обеспечения вакуумно-технических требований к проведению этих процессов, приведены методы контроля и диагностики, позволяющие достаточно глубоко понять характер протекающих процессов с целью соответствующей оптимизации технологии и оборудования. Для студентов вузов, изучающих процессы микро- и наноэлектроники, а также аспирантов, инженеров и научных работников, занимающихся вопросами технологии интегральных схем и микромеханики.
Авторы: В. А. Галперин, Е. В. Данилкин, А. И. Мочалов
Издательство: Бином. Лаборатория знаний
Год: 2015
Местонахождение: OZON.ru
ISBN: 978-5-9963-0032-7
Название: Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях
В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших интегральных схем, изделии микроэлектромеханических систем и наносистем. Проанализированы способы обеспечения вакуумно-технических требований к проведению этих процессов, приведены методы контроля и диагностики, позволяющие достаточно глубоко понять характер протекающих процессов с целью соответствующей оптимизации технологии и оборудования. Для студентов вузов, изучающих процессы микро- и наноэлектроники, а также аспирантов, инженеров и научных работников, занимающихся вопросами технологии интегральных схем и микромеханики.
Авторы: В. А. Галперин, Е. В. Данилкин, А. И. Мочалов
Издательство: Бином. Лаборатория знаний
Год: 2010
Местонахождение: OZON.ru
ISBN: 978-5-9963-0032-7

Где читать эту книгу?

Российские библиотеки и не только

Название: Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях : учебное пособие для вузов
Авторы: Галперин В.А., Данилкин Е.В., Мочалов А.И.
Издательство: Москва: Бином. Лаборатория знаний
Год: 0
Местонахождение: Научная библиотека НИЯУ МИФИ
ISBN: 978-5-9963-0032-7
Название: Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях : учеб. пособие
В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных упьтрабольших интегральных схем, изделий микроэлектромеханических систем и наносистем. Проанализированы способы обеспечения вакуумно-технических требований к проведению этих процессов, приведены методы контроля н диагностики, позволяющие достаточно глубоко понять характер протекающих процессов с целью соответствующей оптимизации технологии и оборудования. Для студентов вузов, изучающих процессы микро- и наноэлектроники, а также аспирантов, инженеров и научных работников, занимающихся вопросами технологии интегральных схем н микромеханики.
Авторы: Галперин В. А., Данилкин Е. В., Мочалов А. И.
Издательство: М.: БИНОМ. Лаборатория знаний
Год: 2012
Местонахождение: Научно-техническая библиотека Саратовского Государственного Технического Университета им. Ю.А.Гагарина
ISBN: 978-5-9963-0032-7
Название: Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях : учебное пособие для студентов вузов, обучающихся по направлению подгот. 210100 "Электроника и микроэлектроника"
Авторы: Галперин, Вячеслав Александрович, Данилкин, Евгений Владимирович, Мочалов, Алексей Иванович
Издательство: М.: БИНОМ. Лаб. знаний
Год: 2012
Местонахождение: Алтайская краевая универсальная научная библиотека им. В. Я. Шишкова
ISBN: 978-5-9963-0032-7


Поиск по сайту


Новости

10 января 2015 года: Запуск базы ISBN10 и ISBN13

Запущена база данных ISBN и технический каталог кодов.