Картотека книг

предварительная версия
Картотека книг » Поиск по коду » Книги с ISBN13 9785996303410

Книга ISBN13 9785996303410 - Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий: в 2 т. Т.1: Физико-химические основы технологии микроэлектроники (Чистяков Ю.Д., Райнова Ю.П.) в магазинах, библиотеках и электронных библиотеках с он-лайн чтением

Информация о местонахождении книг с указанным кодом ISBN. (Найти нужный код ISBN10 или ISBN13 можно в техническом каталоге кодов.)

На странице указаны адреса интернет-магазинов и библиотек (обычных) в которых есть книга с данным кодом.

Где купить эту книгу?

Интернет-магазины

Название: Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий. В 2 томах. Том 2. Технологические аспекты
Разделение данной книги на 2 тома обусловлено большим объемом материала, касающегося интегральных микро- и нанотехнологий; при этом каждый из томов представляет вполне cамостоятельный интерес. Во втором томе изложены технологические и конструктивные основы и особенности методов формирования и "сухого" травления на поверхности подложки тонких слоев и локальных областей проводящих, диэлектрических и полупроводниковых материалов в условиях уменьшения размеров элементов до нанометрового диапазона для интегральных технологий микро- и наноэлектроники, оптоэлектроники, микросистемной техники. Рассматриваются эпитаксиальные процессы, процессы вакуум-термического и ионно-плазменного осаждения, ионного, ионно-химического и плазмохимического травления, термического окисления, методы легирования термической диффузией и ионной имплантацией, а также процессы фотолитографии. Для студентов и аспирантов высших учебных заведений, специализирующихся в области микро- и наноэлектроники,...
Авторы:
Издательство: Бином. Лаборатория знаний
Год: 2011
Местонахождение: OZON.ru
ISBN: 978-5-9963-0341-0

Где читать эту книгу?

Российские библиотеки и не только

Название: Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий: в 2 т. Т.1: Физико-химические основы технологии микроэлектроники
Авторы: Чистяков Ю.Д., Райнова Ю.П.
Издательство: Москва: Бином. Лаборатория знаний
Год: 2010
Местонахождение: Научная библиотека НИЯУ МИФИ
ISBN: 978-5-9963-0341-0


Поиск по сайту


Новости

10 января 2015 года: Запуск базы ISBN10 и ISBN13

Запущена база данных ISBN и технический каталог кодов.