Картотека книг

предварительная версия
Картотека книг » Поиск по коду » Книги с ISBN13 9785996321292

Книга ISBN13 9785996321292 - Процессы плазменного травления в микро– и нанотехнологиях. Учебное пособие (А. И. Мочалов) в магазинах, библиотеках и электронных библиотеках с он-лайн чтением

Информация о местонахождении книг с указанным кодом ISBN. (Найти нужный код ISBN10 или ISBN13 можно в техническом каталоге кодов.)

На странице указаны адреса интернет-магазинов и библиотек (обычных) в которых есть книга с данным кодом.

Где купить эту книгу?

Интернет-магазины

Название: Процессы плазменного травления в микро– и нанотехнологиях. Учебное пособие
В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших интегральных схем, изделий микроэлектромеханических систем и наносистем. Проанализированы способы обеспечения вакуумно-технических требований к проведению этих процессов, приведены методы контроля и диагностики, позволяющие достаточно глубоко понять характер протекающих процессов с целью соответствующей оптимизации технологии и оборудования. Для студентов вузов, изучающих процессы микро– и наноэлектроники, а также аспирантов, инженеров и научных работников, занимающихся вопросами технологии интегральных схем и микромеханики.
Авторы: А. И. Мочалов
Издательство:
Год: 2013
Местонахождение: LitRes.ru
ISBN: 978-5-9963-2129-2

Где читать эту книгу?

Российские библиотеки и не только

Название: Процессы плазменного травления и микро- и нанотехнологиях [Электронный ресурс] : учеб. пособие : учеб. пособие для студ. вузов, обуч. по направл. подготовки 210100 "Электроника и микроэлектроника" . -3-е изд.
Авторы: Галперин, Вячеслав Александрович
Издательство: М.: Бином. Лаборатория знаний
Год: 2013
Местонахождение: Научная библиотека Иркутского Государственного Университета
ISBN: 978-5-9963-2129-2


Поиск по сайту


Новости

10 января 2015 года: Запуск базы ISBN10 и ISBN13

Запущена база данных ISBN и технический каталог кодов.